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大台面加工尺寸25"×30"，可定制2轴、6轴超大台面加工尺寸25"×45"
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控深钻精度可达±0.015mm（VEGA测试条件）
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三轴独立分体结构，可针对每块板进行平移、旋转和涨缩补偿
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大景深CCD镜头，对位精度可达±0.005mm
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基于亚像素边缘搜索、几何图形识别的基准点定位算法
大台面加工尺寸25"×30"，可定制2轴、6轴超大台面加工尺寸25"×45"
控深钻精度可达±0.015mm（VEGA测试条件）
三轴独立分体结构，可针对每块板进行平移、旋转和涨缩补偿
大景深CCD镜头，对位精度可达±0.005mm
基于亚像素边缘搜索、几何图形识别的基准点定位算法